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    (1)氣體種類對(duì)測(cè)量讀數(shù)的影響。

    對(duì)于彈性元件真空計(jì)和電容薄膜真空計(jì)等直接測(cè)量真空計(jì)，其測(cè)量結(jié)果為氣體和蒸汽的全壓力，且與氣體種類無關(guān)。而對(duì)于熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等間接測(cè)量真空計(jì)，其測(cè)量結(jié)果與氣體種類及組分有關(guān)，因此對(duì)其讀數(shù)需要考慮加以修正。

    如果被測(cè)氣體是氮?dú)狻⒍栊詺怏w或較為純凈的空氣，那還比較簡(jiǎn)單，因?yàn)槠胀ㄕ婵沼?jì)出廠前都是以此為基準(zhǔn)標(biāo)定的，實(shí)際測(cè)量的讀數(shù)值就是其真實(shí)壓力值。但在許多情況下，被測(cè)氣體往往是空氣、特殊的工藝放氣、水蒸氣、油蒸氣等多種氣體和蒸汽的不同組合，從而會(huì)影響相對(duì)真空計(jì)的測(cè)量結(jié)果。因此，通常引入相對(duì)靈敏度的概念，針對(duì)不同氣體加以修正。

    (2)氣體種類對(duì)真空規(guī)的影響。

    被測(cè)氣體中的各種蒸氣，還會(huì)對(duì)真空規(guī)造成影響，其中尤以氧氣、水蒸氣、油蒸氣等組分對(duì)真空計(jì)的影響嚴(yán)重。采用電阻真空計(jì)測(cè)量時(shí)，氧氣和水蒸氣會(huì)氧化規(guī)管熱絲，改變熱絲的表面狀態(tài)；油蒸氣附在規(guī)管的熱絲和管壁上，會(huì)改變表面性能，因此都將引起規(guī)管零點(diǎn)漂移和靈敏度的改變，導(dǎo)致讀數(shù)不準(zhǔn)。采用高壓力熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量時(shí)，氧氣和水蒸氣會(huì)明顯損耗規(guī)管的熱陰極；油蒸氣在高溫陰極表面或電子轟擊下分解生成的碳?xì)浠衔铮瑫?huì)污染電極和規(guī)管壁，使規(guī)管靈敏度和特性發(fā)生明顯的變化。因此在粗低真空區(qū)，測(cè)量氧氣、水蒸氣或油蒸氣的壓力，通常采用電容式薄膜真空計(jì)。

(慧樸科技，huiputech)