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    為了給真空室中工作的機(jī)構(gòu)供電，需采用真空電傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)，電傳導(dǎo)電極引入導(dǎo)線與導(dǎo)線之間、導(dǎo)線與真空室壁之間應(yīng)該滿足的電絕緣、真空密封和承受一定的電流負(fù)荷要求。

    電極及電極密封材料的選取取決于工作電壓、電流、頻率溫度等；電傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)形式的選擇取決于設(shè)備的工作壓力范圍。根據(jù)電傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)的用途不同可分為：低壓小電流引入結(jié)構(gòu)、低壓大電流引入結(jié)構(gòu)和高壓引入結(jié)構(gòu)等。

    在設(shè)計(jì)和確定電傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)時(shí)應(yīng)該注意以下問題：

    (1)引入線截面積應(yīng)根據(jù)通過電流及所選材料來確定。不同材料允許通過的最大電流不同。所選擇的引入線截面積應(yīng)大于理論計(jì)算值。

    (2)根據(jù)引入線的工作電壓不同，選擇不同的絕緣材料，并計(jì)算出絕緣厚度。

    某些絕緣材料的擊穿電壓閾值

    (3)橡膠密封的大電流電極引入線如果通過的電流很大，則產(chǎn)生的焦耳熱會使密封材料失效。此時(shí)，引入線應(yīng)該采用水冷結(jié)構(gòu)；

    (4)高真空系統(tǒng)的引入線應(yīng)能承受450℃的烘烤；

    (5)應(yīng)該避免各種金屬蒸鍍或?yàn)R射到引入線的絕緣材料上，以避免造成漏電短路、放電等問題。

    將電流輸入到真空容器中去進(jìn)行供電，在各種真空設(shè)備上是經(jīng)常遇到的，對于金屬真空設(shè)備來說，這種引線裝置最好采用可拆卸的連接密封，這樣便于維修。

(慧樸科技，huiputech)