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產品介紹

Entegris 正在使用創新的流量控制技術解決當今的流量控制挑戰。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學品流量控制而設計。 IFC 6550 型設計的流速為 60、90 或 120 L/min，非常適合用于次晶圓廠散裝化學品輸送應用以及需要高流量的液體處理系統。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術和先進的閉環過程控制。 視覺指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷，使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設計用于超純液體化學品、去離子水和 CMP 漿料應用。 它還設計用于控制氣泡產生介質。

性能特點

使用成熟可靠的差壓流量測量技術和先進的閉環過程控制

視覺指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷

集成壓力傳感器提供額外的過程信息

使用氣泡產生介質經過驗證的測量和控制

堅固的設計提供穩定性和長期可靠性

設計為 60、90 或 120 L/min 流速

技術參數

詳細參數

產品應用