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產(chǎn)品介紹

ProE-Vap 100 輸送系統(tǒng)專為用于原子層沉積 (ALD) 和化學(xué)氣相沉積 (CVD) 工藝的固體前體而設(shè)計。它為用于當(dāng)前和未來技術(shù)節(jié)點的各種固體材料提供穩(wěn)定的質(zhì)量通量。固體前體由于其低蒸氣壓和有限的熱穩(wěn)定性而難以始終如一地輸送到沉積室中。 ProE-Vap 系統(tǒng)克服了這些問題，提供了業(yè)內(nèi)解決方案。與其他蒸發(fā)器相比，ProE-Vap 輸送系統(tǒng)允許在較低溫度下更穩(wěn)定地輸送更高的固體前體，從而降低 ALD 和 CVD 的擁有成本。它大限度地減少了化學(xué)濃度漂移，從而以更少的工具停機(jī)時間實現(xiàn)更高的晶圓產(chǎn)量。自 2008 年以來，ProE-Vap 在大批量制造環(huán)境中展示了高可靠性和強大的性能。它支持交付制造高度復(fù)雜的微電子器件制造所需的各種無機(jī)和過渡金屬前體。

性能特點

在較低溫度下提供更高的質(zhì)量通量

支持氣動和手動閥門選項

良好的整體性能，在汽化器使用壽命期間具有一致的通量

能夠利用前體并大限度地減少過熱造成的分解

技術(shù)參數(shù)

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用