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產品介紹

168 大型 HV 擺式隔離閥即使在惡劣的工藝條件下也能提供可靠的隔離性能。它非常適合大流量應用中的隔離要求，例如大型涂層或顯示器生產系統。因此，它提供 DN 400 和 500mm 兩種規格。168 閥門提供可選的 3 位氣動或標準氣動，均為雙作用。

憑借其特殊的分體式設計，無需拆卸管道連接或工藝室連接即可進行維護。其纖薄的設計允許將 168 直接安裝到制程腔體，從而消除了例如腔室 - 閥門 - 泵連接中通常需要的體積。

憑借其堅固的設計以及多種設計選項，168 系列易于集成到各種真空工藝中。

168系列已在全球數百個批量和在線生產系統中安裝在各種工藝條件下，已在各個方面證明了其性能。

性能特點

• 大真空量的可靠隔離

• 在惡劣條件下也能提供可靠的性能

• 采用狹縫式機身設計，維護快捷方便

• 正常運行時間長

• 運營成本低

• 可根據工藝要求進行調整

技術參數

詳細參數

產品應用