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應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于光探測器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。
技術(shù)參數(shù)
1.工位接口數(shù)量:6-20工位。
2.極限真空度:抽排的工件極限真空度10-8Pa;
3.無油污染:采用無油機械泵與分子泵,避免油蒸汽對工作環(huán)境的污染;
4. 烘烤:烘箱加熱,烘烤溫度可達到200℃且具有溫度顯示和可調(diào)功能;
5. 工位處配置充N2接口,使在卸下工件時能夠充入N2保護;
高真空排氣臺
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