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干涉顯微鏡法采用與輪廓儀法相同的試樣處理方法，即造成基體與鍍層之間的臺階，利用多光束干涉測量儀對該臺階的高度進(jìn)行測量。

干涉測量儀有一個(gè)貼于試樣作平面基準(zhǔn)板的透鏡。當(dāng)一束單色光在試樣上和上述透鏡之間來回反射時(shí)，就可通過一個(gè)低倍顯微鏡來觀察干涉條紋圖像。若將基準(zhǔn)板相對于待測試樣表面稍微傾斜，就會形成一系列平行的干涉條紋線。試樣表面的臺階會使干涉條紋偏移。一個(gè)條紋間距偏移相當(dāng)于單色光半個(gè)波長的垂直位移，干涉條紋所移動的間距和形狀可用帶刻度線的目鏡測微計(jì)來觀察和測定。

本方法可用來測量2μm以下、具有高反射率的鍍層。詳見國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3868金屬及其它無機(jī)覆蓋層斐索（Fizeau）多光束干涉測量法。