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    (1)玻璃的滲透率。在室溫下，基本上可以忽略氣體對玻璃的滲透，除了H₂和He之外，實際上玻璃對其余所有的氣體都不滲透。這也是考慮選用玻璃作真空系統(tǒng)，尤其是形狀復(fù)雜的系統(tǒng)的器壁材料的因素之一。

    氣體分子的直徑對滲透量的影響很大，He分子直徑最小，因而滲透量最大，而Ar、N₂和O₂的分子直徑較大，對玻璃基本上不能滲透。

    實驗證明：由于He分子極小，故在室溫下He能滲入玻璃，其滲透率的值隨著溫度升高按指數(shù)規(guī)律增大。

    氫對玻璃的滲透率遠小于氦，因而氦氣是超高真空系統(tǒng)內(nèi)主要的殘留氣體。玻璃的成分組成對氦的滲透影響非常大，不同種類的玻璃，其氦的滲透系數(shù)會有很大差別。氦對石英玻璃的滲透率最大，對硼硅硬玻璃的滲透較少，而對鈉鈣軟玻璃的滲透最少，因而鋁硅軟玻璃最適于用來制作超高玻璃真空系統(tǒng)。只有用某些特殊玻璃(如鋁硅酸鹽玻璃)，才能獲得高于10^-10Pa的真空度。

    (2)玻璃的放氣與除氣。雖然玻璃本身固有的蒸氣壓極低(10^-13~10^-23Pa),但在制備玻璃過程中，氣體被捕獲于玻璃內(nèi)部成為合成產(chǎn)物。這些氣體大都由H₂O、CO₂、CO、O₂組成。玻璃的放氣氣源除了溶解于玻璃內(nèi)的氣體外，還被吸附在玻璃的表面上，吸附的主要成分也是水汽。玻璃有一特殊的表面層，水汽的擴散系數(shù)在表層比內(nèi)部大得多。玻璃的常溫放氣主要來自表層，如用HF酸腐蝕掉該表層，放氣量可大大減少。當(dāng)玻璃表面生成水化物時，會破壞玻璃邊界的密封性能。尤其是玻璃處于蒸氣中時，其硅膠表面呈海綿狀，大量的水蒸氣吸附在其中。

    溶解和吸附的氣體是高真空玻璃系統(tǒng)的放氣來源，未經(jīng)烘烤的硼硅玻璃系統(tǒng)的放氣流量可達10^-5Pa·m3/(s·m2)。經(jīng)真空烘烤除氣后可以大大減少常溫放氣量。因而在高真空中使用的玻璃至少應(yīng)在其最高工作溫度下徹底地去氣。

(慧樸科技，huiputech)