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    運(yùn)動傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)是用來向真空室中傳遞各種運(yùn)動，以實(shí)現(xiàn)真空室中機(jī)構(gòu)的運(yùn)動，滿足所進(jìn)行的工藝過程的需要。要求這種運(yùn)動傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)既能向真空室中傳遞運(yùn)動，又要保證真空密封。

    運(yùn)動傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)傳遞的運(yùn)動形式一般有以下幾種：(1)傳動軸的轉(zhuǎn)動；(2)傳動軸的往復(fù)直線運(yùn)動；(3)傳動軸的擺動。

    運(yùn)動傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)按照動密封方式分類有：(1)真空橡膠密封可動傳導(dǎo)；(2)金屬波紋管密封可動傳導(dǎo)；(3)液態(tài)金屬密封可動傳導(dǎo)；(4)間隙密封傳導(dǎo)；(5)磁力傳動傳導(dǎo)；(6)磁流體密封可動傳導(dǎo)；(7)橡膠隔膜密封可動傳導(dǎo)。

    在選擇運(yùn)動傳導(dǎo)密封形式時(shí)，應(yīng)注意下列事項(xiàng)：

    (1)從傳動密封處漏入真空室中的氣體量對工作壓力的影響。此氣體量值包括密封處漏氣量、元件表面放氣、高溫下薄壁零件(波紋管)的滲漏；

    (2)在真空室工作溫度范圍內(nèi)，傳動軸即密封元件能否正常工作；

    (3)傳遞運(yùn)動形式(直線、旋轉(zhuǎn)、擺動)及傳動精度；

    (4)真空中從動部件的最大速度、位移以及密封軸的轉(zhuǎn)速；

    (5)使用方便、易更換易損零件，工藝性好，成本低。

（慧樸科技，huiputech）