發布日期：2022-11-05 點擊率：48
①超高真空油擴散泵不能在大氣壓下工作，需要用粗抽泵將真空容器的大氣抽至啟動壓力以下。油擴散泵配置的前級泵，在較低的前級壓力下其排氣量應大于擴散泵的最大排氣量，用以減少反擴散的概率。
②運轉油擴散泵一定要避免處于高溫下的泵油與大氣接否則會發生泵油的裂解、氧化，污染整個真空系統的重大事故。
③在整個運轉期間，必須注意泵的加熱功率和冷卻水溫，一旦發現出水口水溫過高，應立即重新調節冷卻水流量。若遇停水，則應立即切斷加熱電源，并將加熱電爐移開后用風扇冷卻泵體。關閉加熱電源停止運轉擴散泵后，一般需要繼續用前級泵抽氣，直到泵油鍋冷卻到安全溫度，才能停止抽氣和關閉冷卻水。
④帶液氮冷阱的擴散泵超高真空系統烘烤后，應當在冷阱完全冷到室溫后加注液氮。加注前，要把液氮膽內的所有水和蒸氣用熱風吹干，避免水凍結在冷阱內。加注液氮時，最好先將少量液氮加入阱的底部，等到系統的可凝物(水有機溶劑、二氧化碳等)捕集在阱的下部真空度達到高真空后，再逐步加滿液氮。
⑤工藝周期要求長時間運轉的擴散泵系統，最好配備自動控制裝置，自動控制的主要內容有：
a.粗抽泵抽氣達到給定的壓力時，能自動啟動擴散泵；
b.系統內壓力突然升高到最大允許值時，自動關閉高真空閥，切斷擴散泵加熱電源并報警；
c.冷卻水溫過高或中斷時，自動切斷加熱電源并報警；
d.控制兩只并聯的前級泵自動轉換成間斷工作，確保前級泵不過熱。
⑥需要打開容器換取工件時，最好通入干燥熱氮氣，再次抽氣時可降低容器內材料的出氣速率。
(慧樸科技，huiputech)
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