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    設(shè)計(jì)金屬法蘭的基本要求是：

    ①要求能提供性能良好的氣密界面，通常靠高強(qiáng)度金屬擠壓軟金屬形成可靠的氣密；

    ②能滿足法蘭連接的機(jī)械強(qiáng)度和密封壓力，并在后續(xù)的操作和烘烤中也能保持合適的密封壓力。

    此外，還要考慮法蘭裝配定位法蘭平面密封或凹槽密封在裝配時(shí)表面的保護(hù)以及大氣環(huán)境下的耐烘烤、耐腐蝕問題。

    目前，大都采用不銹鋼和軟金屬(銅、鋁、鎳、金等)墊片組成金屬連接法蘭，它在烘烤出氣時(shí)，溫度對(duì)材料的蠕變性能在設(shè)計(jì)工作中應(yīng)引起足夠的注意。例如銅在300~400℃溫度下可產(chǎn)生明顯的蠕變，鋁的蠕變溫度較低，銦在室溫下就會(huì)發(fā)生蠕變。蠕變?cè)诜磸?fù)烘烤后的冷卻階段，最容易產(chǎn)生漏氣。

    克服蠕變的方法是設(shè)計(jì)的金屬法蘭結(jié)構(gòu)在烘烤后要有足夠的回彈力，這樣即使高溫下產(chǎn)生蠕變，在結(jié)束烘烤回到室溫后，不銹鋼法蘭仍有足夠的密封力，確保氣密性。此外，還應(yīng)當(dāng)注意高溫引起的其他問題，如銦在足夠高的溫度下會(huì)腐蝕不銹鋼，超高真空清潔的金屬表面，在高溫高壓下可產(chǎn)生相互擴(kuò)散焊帶來(lái)的麻煩等。

（慧樸科技，huiputech）