作為一種精細化機械工藝，MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)深受運動、加速度、傾斜以及振動等傳感器應(yīng)用的歡迎。今天的MEMS傳感器是系統(tǒng)級封裝解決方案，MEMS體積小、重量輕、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生產(chǎn)、智能化高。MEMS壓力傳感器的尺寸更小，最大的不超過一個厘米，相對于傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)，其性價比大幅度提高。而借助MEMS技術(shù)帶給傳感器的這些優(yōu)勢，又為傳感器打開了更多全新應(yīng)用之門。
市場對傳感器的需求隨著應(yīng)用的不同其需求重點不同，如工業(yè)過程控制還是集中在溫度、壓力、流量及圖像系統(tǒng)方面。一般消費產(chǎn)品像手機里面的輕觸式感應(yīng)系統(tǒng)、陀螺儀，圖像等器件。而在汽車工業(yè)里，除了傳統(tǒng)的溫度、壓力、速度、及流量等傳統(tǒng)信號感應(yīng)系統(tǒng)外，越來越多的圖像和雷達系統(tǒng)被應(yīng)用到了汽車的安全系統(tǒng)應(yīng)用中。這些新興的應(yīng)用都將具有廣闊的市場前景。如圖1所示。
工農(nóng)業(yè)應(yīng)用
在工業(yè)領(lǐng)域，MEMS傳感器的運用主要會在地震預(yù)測，橋梁倒塌等事故的預(yù)測中。例如鐵塔底下放置傳感器后，即可得知在某個支撐點范圍下鐵塔是安全的，超過這個范圍就會產(chǎn)生安全隱患。在國外的橋梁上已經(jīng)有了使用傳感器的案例。
另外一個工業(yè)的應(yīng)用就是在煤礦。運用在煤礦地下支撐腳的控制，減小塌方的可能性。農(nóng)業(yè)方面，在耕地面積減少的情況下農(nóng)業(yè)機械化和高產(chǎn)量的需求也使得農(nóng)業(yè)開始需要高尖端的技術(shù)。未來的農(nóng)業(yè)也會是個不同的景象，例如在插秧的設(shè)備上搭載MEMS傳感器，它可以做到同角度高準確的種植，在同樣的投入下收獲更高的產(chǎn)量。
MEMS傳感器在中國有10年多的發(fā)展，但是推廣不夠立體，市場需求并不明顯等原因?qū)嶋H實際應(yīng)用還不多。因此，在國內(nèi)推廣此產(chǎn)品會需要比較長的周期，展望未來，MEMS傳感器在汽車電子等領(lǐng)域?qū)Ω呒舛藗鞲衅鞯男枨髸粩嘣黾印?br>
消費級應(yīng)用
在消費產(chǎn)品中，現(xiàn)在不論是走路還是打電話，都會用到不同程度的傳感器。除了市場比較成熟的常用傳感器之外，高精度傳感器產(chǎn)品的日后需求將會越來越多。
微加工聲學器件，也稱MEMS話筒，可提高現(xiàn)有的和新興應(yīng)用設(shè)備的音質(zhì)、可靠性和成本效益，目標應(yīng)用包括手機、筆記本電腦、錄像機、數(shù)碼相機以及助聽器或電子聽診器。將多個MEMS話筒組合成陣列可實現(xiàn)更多功能，如噪聲抑制和方向拾音。這在噪聲很大和無法控制的環(huán)境內(nèi)，對于提高聲音清晰度很有幫助，可以有效提高移動會話和會議的音質(zhì)。
MEMS磁傳感器測量地球磁場的強度和/或方向，因而能夠確定以北極為參考軸的前進方向，增強便攜消費電子產(chǎn)品的電子羅盤功能，包括方位定向、地圖/顯示屏定向、定位關(guān)聯(lián)服務(wù)和航位推測。在一個9自由度(DoF) 多傳感器模塊內(nèi)，磁傳感器可補充加速度計和陀螺儀的功能。
MEMS陀螺儀，也稱角運動傳感器，可以輔助加速計，使游戲機和遙控器的人機界面變得更加炫酷。這些陀螺儀還能消除晃動對數(shù)字攝像機或數(shù)碼相機畫質(zhì)的影響，提高圖像或相片的清晰度，并可使汽車導航增加航位推算和地圖匹配功能。由于GPS衛(wèi)星信號無法覆蓋每一個角落，例如，在建筑物內(nèi)或高樓林立的城區(qū)通常沒有衛(wèi)星信號，在這種情況下，航位推算系統(tǒng)通過監(jiān)測運動、行程和海拔，修正數(shù)字羅盤讀數(shù)，繼續(xù)為用戶提供準確的導航信息。
MEMS加速度傳感器和陀螺儀讓設(shè)備廠商研制出各種高性價比的運動控制型設(shè)備，并取得市場成功。這些傳感器能夠給手機、MP3/MP4播放器、PDA、平板電腦或游戲機控制器增加智能人機界面，把用戶的手腕、胳膊和手的運動與應(yīng)用程序、頁面內(nèi)以及頁面之間的瀏覽、游戲機中的人物動作等設(shè)備功能聯(lián)系起來，實現(xiàn)真正意義的人機互動。
MEMS壓力傳感器可滿足應(yīng)用對全量程和高分辨率的要求：應(yīng)用實例包括手持設(shè)備的氣壓計功能和硬盤驅(qū)動器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅(qū)動器小型化趨勢和存儲容量不斷提高，磁頭與盤面之間的距離極易受到氣壓變化的負面影響。
便攜設(shè)備中的數(shù)據(jù)保護是MEMS傳感器的另一種應(yīng)用。當出現(xiàn)自由墜落或者其它異常運動時，MEMS加速計將立即通知系統(tǒng)終止全部的硬盤驅(qū)動器(HDD)讀寫操作，并將磁頭固定到安全位置。意法半導體的加速計還經(jīng)常集成在洗衣機或烘干機等家電設(shè)備中，充當振動檢測器，用于穩(wěn)定失衡的負荷，防止機器出現(xiàn)過量的磨損而發(fā)生故障。
以MEMS壓力傳感器在手機中的應(yīng)用為例，氣壓傳感器可以做到以下方面的數(shù)據(jù)測量：
海拔高度測量
對于喜歡登山的人來說，都會非常關(guān)心自己所處的高度。但由于受到技術(shù)和其它方面原因的限制，GPS計算海拔高度一般誤差都會有十米左右，而如果在樹林里或者是在懸崖下面時，有時候甚至接收不到GPS衛(wèi)星信號。
而氣壓的方式可選擇的范圍會廣些，而且可以集成溫度傳感器，將捕捉到溫度來對結(jié)果進行修正，以增加測量結(jié)果的精度。所以在手機原有GPS的基礎(chǔ)上再增加氣壓傳感器的功能，可以讓的三維定位更加精準。
導航輔助
在高架橋上時，一般高架橋上下兩層的高度都會有幾米到十幾米的距離，而GPS的誤差可能會有幾十米，所以GPS無法判斷你是橋上還是橋下而容易造成的錯誤導航。而如果手機里增加一個氣壓傳感器就不一樣了，他的精度可以做到1米的誤差，這樣就可以很好的輔助GPS來測量出所處的高度，錯誤導航的問題也就容易解決了。
室內(nèi)定位
由于在室內(nèi)無法很好的接收GPS信號，所以當使用者進入一幢很厚的樓宇時，內(nèi)置感應(yīng)器可能會失去衛(wèi)星的信號，所以無法識別用戶的地理位置，并且無法感知垂直高度。而如果手機加上氣壓傳感器再配合加速計、陀螺儀等技術(shù)就可以做到精準的室內(nèi)定位。這樣以后你在商場購物時，就可以通過手機定位來告訴你你想購買的產(chǎn)品在商場的那個位置，哪一層樓。
除了消費和手機應(yīng)用，目前其他許多領(lǐng)域也采用了MEMS傳感器與致動器，包括資料處理在內(nèi)，如打印機、投影機、復印機、空調(diào)、汽車和其他高附加價值的工業(yè)、醫(yī)療、有線通訊和航天、國防等。意法半導體大中華暨南亞區(qū)MEMS 和傳感器產(chǎn)品市場經(jīng)理Vincent Xu認為，若依發(fā)展現(xiàn)況來看，到2014年，消費和行動MEMS將成為整個MEMS領(lǐng)域中最大的一個區(qū)塊；這個區(qū)塊包含了許多種大量應(yīng)用，如筆記型計算機、MP3播放器、遙控器、便攜式導航設(shè)備和可穿戴式應(yīng)用等。
