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1）力矩馬達部分

  a.線圈斷線：引起閥不動，無電流。

  b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內有雜物，引起閥門不動作。

  c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩定，頻繁調整。

  d.緊固件松動：原因是振動，固定螺絲松動等，引起零偏增大。

  e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統迅速失效，伺服閥逐漸產生振動，系統震蕩，嚴重的管路也振動。

  f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到最大。

2）噴嘴擋板部分

  a.噴嘴或節流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨降率低，嚴重的引起系統不穩定。

  b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴重的引起系統擺動。

3)滑閥放大器部分

  a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統不穩定。

  b.徑向濾芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。

  c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。

4）其他部分

    密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內外滲油，可導致伺服閥堵塞。

1）力矩馬達部分

  a.線圈斷線：引起閥不動，無電流。

  b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內有雜物，引起閥門不動作。

  c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩定，頻繁調整。

  d.緊固件松動：原因是振動，固定螺絲松動等，引起零偏增大。

  e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統迅速失效，伺服閥逐漸產生振動，系統震蕩，嚴重的管路也振動。

  f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到最大。

2）噴嘴擋板部分

  a.噴嘴或節流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨降率低，嚴重的引起系統不穩定。

  b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴重的引起系統擺動。

3)滑閥放大器部分

  a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統不穩定。

  b.徑向濾芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。

  c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。

4）其他部分

    密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內外滲油，可導致伺服閥堵塞。