發布日期：2022-10-09 點擊率：99
振動傳感器按照直接測量的物理量分為位移傳感器、速度傳感器和加速度傳感器。
顧名思義，振動位移傳感器（常用電渦流傳感器）測量的是位移量（間隙變化），振動速度傳感器測量的是速度，振動加速度傳感器測量的是加速度。速度經過一次積分可以成為位移，加速度經過1、2次積分可以變成速度和位移，但積分通常會引起誤差。
傳感器的選擇與測量的部位和振動頻率有關。
一般認為，在低頻范圍內，振動強度與位移成正比；在中頻范圍內，振動強度與速度成正比；在高頻范圍內，振動強度與加速度成正比。大型旋轉機械通常用裝在軸承上的非接觸式電渦流位移傳感器來測量轉子軸頸的相對振動，用裝在機器殼體上的磁電式速度傳感器或壓電式加速度傳感器來測量振動，齒輪和滾動軸承的振動用加速度傳感器來測量。
振動位移具體地反映了間隙的大小，振動速度反映了能量的大小，振動加速度反映了沖擊力的大小。由于振動能量能夠比較準確反映振動的強弱，目前的振動標準傾向于用振動烈度（速度有效值）來作為判斷設備的振動狀態。
振動位移傳感器一般用電渦流位移傳感器，測軸振動振幅值，振動速度傳感器值振動速度有效值，測殼振和軸承振動，上海東太傳感科技有生產這兩種傳感器，HN800型電渦流位移傳感器和HN500型一體化振動傳感器廣泛應用旋轉機械的振動監測，有極高的性價比。加速度的他們沒有做，不太了解。
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加速度傳感器
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加速度傳感器是一種能夠測量加速度的傳感器。通常由質量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調電路等部分組成。傳感器在加速過程中，通過對質量塊所受慣性力的測量，利用牛頓第二定律獲得加速度值。根據傳感器敏感元件的不同，常見的加速度傳感器包括電容式、電感式、應變式、壓阻式、壓電式等。
中文名
加速度傳感器
外文名
acceleration transducer
作 用
測量加速度
定 義
將加速度轉換為信號的傳感器
分 類
電容式、電感式、應變式、壓阻式、壓電式
組成部分
質量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調電路等
目錄
1
定義
2
分類
?
壓電式
?
壓阻式
?
電容式
?
伺服式
3
應用
?
范圍
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案例
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具體
4
主要產品
5
工作原理
6
技術指標
7
選型指南
?
輸出型式
?
測量軸數量
?
最大測量值
?
靈敏度
8
帶寬
?
電阻/緩存機制
?
累積誤差
9
安裝注意事項
10
前景預測
11
最新發展
加速度傳感器定義
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語音
陀螺儀
中文名稱：加速度傳感器英文名稱：acceleration transducer定義：能感受加速度并轉換成可用輸出信號的傳感器應用學科：機械工程（一級學科）；傳感器（二級學科）；物理量傳感器（三級學科）。
加速度傳感器分類
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加速度傳感器壓電式
壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計。它也屬于慣性式傳感器。壓電式加速度傳感器的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應，在加速度計受振時，質量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當被測振動頻率遠低于加速度計的固有頻率時，則力的變化與被測加速度成正比。
加速度傳感器壓阻式
基于世界領先的MEMS硅微加工技術，壓阻式加速度傳感器具有體積小、低功耗等特點，易于集成在各種模擬和數字電路中，廣泛應用于汽車碰撞實驗、測試儀器、設備振動監測等領域。
加速度傳感器電容式
電容式加速度傳感器是基于電容原理的極距變化型的電容傳感器。電容式加速度傳感器/電容式加速度計是比較通用的加速度傳感器。在某些領域無可替代，如安全氣囊，手機移動設備等。電容式加速度傳感器/電容式加速度計采用了微機電系統（MEMS）工藝，在大量生產時變得經濟，從而保證了較低的成本。
加速度傳感器伺服式
伺服式加速度傳感器是一種閉環測試系統，具有動態性 能好、動態范圍大和線性度好等特點。其工作原理，傳感器的振動系統由 "m-k”系統組成，與一般加速度計相同，但質量m上還接著一個電磁線圈，當基座上有 加速度輸入時，質量塊偏離平衡位置，該位移大小由位移傳感器檢測出來，經伺服放大器 放大后轉換為電流輸出，該電流流過電磁線圈，在永久磁鐵的磁場中產生電磁恢復力，力圖使質量塊保持在儀表殼體中原來的平衡位置上，所以伺服加速度傳感器在閉環狀態下工作。由于有反饋作用，增強了抗干擾的能力，提高測量精度，擴大了測量范圍，伺服加速度測量技術廣泛地應用于慣性導航和慣性制導系統中，在高精度的振動測量和標定中也有應用。
加速度傳感器應用
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加速度傳感器范圍
石英撓性加計加速度傳感器(5張)
通過測量由于重力引起的加速度，你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態加速度，你可以分析出設備移動的方式。但是剛開始的時候，你會發現光測量傾角和加速度好像不是很有用。但是，工程師們已經想出了很多方法獲得更多的有用的信息。加速度傳感器可以幫助機器人了解它身處的環境。是在爬山？還是在走下坡，摔倒了沒有？或者對于飛行類的機器人來說，對于控制姿態也是至關重要的。更要確保的是，你的機器人沒有帶著炸彈自己前往人群密集處。一個好的程序員能夠使用加速度傳感器來回答所有上述問題。加速度傳感器甚至可以用來分析發動機的振動。加速度傳感器可以測量牽引力產生的加速度。
加速度傳感器案例
加速度傳感器應用于地震檢波器設計地震檢波器是用于地質勘探和工程測量的專用傳感器，是一種將地面振動轉變為電信號的傳感器，能把地震波引起的地面震動轉換成電信號，經過模/數轉換器轉換成二進制數據、進行數據組織、存儲、運算處理。加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設備，典型應用在手機、筆記本電腦、步程計和運動檢測等。加速度傳感器技術應用于車禍報警在汽車工業高速發展的現代，汽車成為了人們出行主要的交通工具之一，但是因交通事故的傷亡數量也十分巨大。在信息化的現代利用高科技去挽救人的生命將會是重大研究的主題之一，基于加速度的車禍報警系統正是懷著這種設計理念，相信這種系統的推廣，會給汽車行業帶來更多的安全。加速度傳感器應用于監測高壓導線舞動目前國內對導線舞動監測多采用視頻圖像采集和運動加速度測量兩種主要技術方案。前者在野外高溫、高濕、嚴寒、濃霧、沙塵等天氣條件下，不僅對視頻設備的可靠性、穩定性要求很高，而且拍攝的視頻圖像的效果也會受到影響，在實際使用中只能作為輔助監測手段，無法定量分析導線運動參數；而采用加速度傳感器監測導線舞動情況，雖可定量分析輸電導線某一點上下振動和左右擺動的情況，但只能測出導線直線運動的振幅和頻率，而對于復雜的圓周運動，則無法準確測量。所以我們必須加快加速度傳感器的發展來適應諸如此類環境下進行應用。
加速度傳感器具體
汽車安全加速度傳感器主要用于汽車安全氣囊、防抱死系統、牽引控制系統等安全性能方面。在安全應用中，加速度計的快速反應非常重要。安全氣囊應在什么時候彈出要迅速確定，所以加速度計必須在瞬間做出反應。通過采用可迅速達到穩定狀態而不是振動不止的傳感器設計可以縮短器件的反應時間。其中，壓阻式加速度傳感器由于在汽車工業中的廣泛應用而發展最快。游戲控制加速度傳感器可以檢測上下左右的傾角的變化，因此通過前后傾斜手持設備來實現對游戲中物體的前后左右的方向控制，就變得很簡單。圖像自動翻轉用加速度傳感器檢測手持設備的旋轉動作及方向，實現所要顯示圖像的轉正。電子指南針傾斜校正磁傳感器是通過測量磁通量的大小來確定方向的。當磁傳感器發生傾斜時，通過磁傳感器的地磁通量將發生變化，從而使方向指向產生誤差。因此，如果不帶傾斜校正的電子指南針，需要用戶水平放置。而利用加速度傳感器可以測量傾角的這一原理，可以對電子指南針的傾斜進行補償。GPS導航系統死角的補償GPS系統是通過接收三顆呈120度分布的衛星信號來最終確定物體的方位的。在一些特殊的場合和地貌，如遂道、高樓林立、叢林地帶，GPS信號會變弱甚至完全失去，這也就是所謂的死角。而通過加裝加速度傳感器及以前我們所通用的慣性導航，便可以進行系統死區的測量。對加速度傳感器進行一次積分，就變成了單位時間里的速度變化量，從而測出在死區內物體的移動。計步器功能加速度傳感器可以檢測交流信號以及物體的振動，人在走動的時候會產生一定規律性的振動，而加速度傳感器可以檢測振動的過零點，從而計算出人所走的步或跑步所走的步數，從而計算出人所移動的位移。并且利用一定的公式可以計算出卡路里的消耗。防手抖功能用加速度傳感器檢測手持設備的振動/晃動幅度，當振動/晃動幅度過大時鎖住照相快門，使所拍攝的圖像永遠是清晰的。閃信功能通過揮動手持設備實現在空中顯示文字，用戶可以自己編寫顯示的文字。這個閃信功能是利用人們的視覺殘留現象，用加速度傳感器檢測揮動的周期，實現所顯示文字的準確定位。硬盤保護利用加速度傳感器檢測自由落體狀態，從而對迷你硬盤實施必要的保護。大家知道，硬盤在讀取數據時，磁頭與碟片之間的間距很小，因此，外界的輕微振動就會對硬盤產生很壞的后果，使數據丟失。而利用加速度傳感器可以檢測自由落體狀態。當檢測到自由落體狀態時，讓磁頭復位，以減少硬盤的受損程度。設備或終端姿態檢測加速度傳感器和陀螺儀通常稱為慣性傳感器，常用于各種設備或終端中實現姿態檢測，運動檢測等，也就很適合玩體感游戲的人群。加速度傳感器利用重力加速度，可以用于檢測設備的傾斜角度，但是它會受到運動加速度的影響，使傾角測量不夠準確，所以通常需利用陀螺儀和磁傳感器補償。同時磁傳感器測量方位角時，也是利用地磁場，當系統中電流變化或周圍有導磁材料時，以及當設備傾斜時，測量出的方位角也不準確，這時需要用加速度傳感器（傾角傳感器）和陀螺儀進行補償。智能產品加速度傳感器在微信功能中的創新功能突破了電子產品的千篇一律，這個功能的實現來源傳感器的方向、加速表、光線、磁場、臨近性、溫度等參數的特性。這個原理是手機里面集成的加速度傳感器，它能夠分別測量X、Y、Z三個方面的加速度值，X方向值的大小代表手機水平移動，Y方向值的大小代表手機垂直移動，Z方向值的大小代表手機的空間垂直方向，天空的方向為正，地球的方向為負，然后把相關的加速度值傳輸給操作系統，通過判斷其大小變化，就能知道同時玩微信的朋友。
加速度傳感器主要產品
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2014年4月4日，美國商標和專利局發布的最新專利申請顯示，蘋果公司正在開發一種新型的耳機設備，他們嘗試在耳機中加入多個傳感器和麥克風，讓降噪功能更強，并讓耳機更智能。
[1]
這種耳機是有線的，可能是目前EarPods的的改進版。它配備了各種傳感器，包括加速傳感器，以及兩個麥克風。當有晃動時候，加速傳感會被觸發，啟動耳機線上的降噪麥克風，形成一種比目前EarPods更好的降噪系統。但是該產品還只是專利狀態，對蘋果這種善于專利儲備的公司來說，它未必會馬上用在新產品上。
[1]
加速度傳感器工作原理
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線加速度計的原理是牛頓第二定律，即加速度定律，也就是力的平衡，A(加速度)=F(慣性力)/M(質量) 我們只需要測量F就可以了。怎么測量F？用電磁力去平衡這個力就可以了。就可以得到 F對應于電流的關系。只需要用實驗去標定這個比例系數就行了。當然中間的信號傳輸、放大、濾波就是電路的事了。多數加速度傳感器是根據壓電效應的原理來工作的。所謂的壓電效應就是 "對于不存在對稱中心的異極晶體加在晶體上的外力除了使晶體發生形變以外，還將改變晶體的極化狀態，在晶體內部建立電場，這種由于機械力作用使介質發生極化的現象稱為正壓電效應 "。一般加速度傳感器就是利用了其內部的由于加速度造成的晶體變形這個特性。由于這個變形會產生電壓，只要計算出產生電壓和所施加的加速度之間的關系，就可以將加速度轉化成電壓輸出。當然，還有很多其它方法來制作加速度傳感器，比如壓阻技術，電容效應，熱氣泡效應，光效應，但是其最基本的原理都是由于加速度產生某個介質產生變形，通過測量其變形量并用相關電路轉化成電壓輸出。每種技術都有各自的機會和問題。壓阻式加速度傳感器由于在汽車工業中的廣泛應用而發展最快。由于安全性越來越成為汽車制造商的賣點，這種附加系統也越來越多。壓阻式加速度傳感器2000年的市場規模約為4.2億美元，根據有關調查，預計其市值將按年平均4.1%速度增長，至2007年達到5.6億美元。這其中，歐洲市場的速度最快，因為歐洲是許多安全氣囊和汽車生產企業的所在地。壓電技術主要在工業上用來防止機器故障，使用這種傳感器可以檢測機器潛在的故障以達到自保護，及避免對工人產生意外傷害，這種傳感器具有用戶，尤其是質量行業的用戶所追求的可重復性、穩定性和自生性。但是在許多新的應用領域，很多用戶尚無使用這類傳感器的意識，銷售商冒險進入這種尚待開發的市場會麻煩多多，因為終端用戶對由于使用這種傳感器而帶來的問題和解決方法都認識不多。如果這些問題能夠得到解決，將會促進壓電傳感器得到更快的發展。2002年壓電傳感器市值為3億美元，預計其年增長率將達到4.9%，到2007年達到4.2億美元。使用加速度傳感器有時會碰到低頻場合測量時輸出信號出現失真的情況，用多種測量判斷方法一時找不出故障出現的原因，經過分析總結，導致測量結果失真的因素主要是：系統低頻響應差，系統低頻信噪比差，外界環境對測量信號的影響。 所以，只要出現加速度傳感器低頻測量信號失真情況，對比以上三點看看是哪個因素造成的，有針對性的進行解決。
加速度傳感器技術指標
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1、靈敏度方面的技術指標：對于一個儀器來說，一般都是靈敏度越高越好的，因為越靈敏，對周圍環境發生的加速度的變化就越容易感受到，加速度變化大，很自然地，輸出的電壓的變化相應地也變大，這樣測量就比較容易方便，而測量出來的數據也會比較精確的。2、帶寬方面的技術指標：帶寬指的的是傳感器可以測量的有效的頻帶，比如，一個傳感器有上百HZ帶寬的就可以測量振動了；一個具有五十HZ帶寬的傳感器就可以有效測量傾角了。3、量程方面的技術指標：測量不一樣的事物的運動所需要的量程都是不一樣的，要根據實際情況來衡量。解析手機上的傳感器加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設備。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力，就好比地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量，比如g，也可以是變量。因此其的范圍比重力感應器要大，但是一般在手機被提到的加速度感應器時，其實就是指重力感應器，因此兩者可以看做是等價的。方向感應器手機方向傳感器是指，安裝在手機上用以檢測手機本身處于何種方向狀態的部件，而不是通常理解的指南針的功能。手機方向檢測功能可以檢測手機處于正豎、倒豎、左橫、右橫，仰、俯狀態。具有方向檢測功能的手機具有使用更方便、更具人性化的特點。例如，手機旋轉后，屏幕圖像可以自動跟著旋轉并切換長寬比例，文字或菜單也可以同時旋轉，使你閱讀方便;聽MP3時。可能會有人說：這個跟那個重力感應器是一樣的？這個兩者是不一樣的，方向感應器或者叫應用角速度傳感器比較合適，一般手機的上的方向感應器是感應水平面上的方位角、旋轉角和傾斜角的。這個如果你可能覺得有點理論的話，舉個例子吧。有方向感應器的能很好的玩都市賽車游戲。而只有重力感應器也能玩，但是，結果很令人糾結。為了得到高度真實的試驗數據，使用者應當全面地了解所用儀器的工作特性，這些特性是怎樣互相影響的，整個環境對這些特性是如何影響的，以及加速度計對被測運動是如何影響的。加速度計是關鍵的測量元件，有多種設計型式供選用。每種設計型式都為某些特定用處設計的，目的是為獲得高保真的測量數據。工程師們應認真地分析測量的要求，選用最合適的加速度計，通常要在靈敏度，重量和頻響范圍三者之間比較，做出最合適的選擇。傳感器主要工作特性分為有效響應與亂真響應兩類。●有效響應 effective response在傳感器靈敏軸方向上，由輸入的機械振動或沖擊所引起的傳感器的響應。這種響應是正確使用傳感器進行測量，取得可靠數據所期望的。●亂真響應 spurious response在使用傳感器測量機械振動或沖擊時，由同時存在的其他物理因素所引起的傳感器的響應。這種響應是干擾正確測量的，是不期望的。（見國家標準 GB/T .1-93）有效響應主要有：靈敏度；幅頻響應和相頻響應；非線性度。亂真響應主要有：溫度響應；瞬變溫度靈敏度；橫向靈敏度；旋轉運動靈敏度；基座應變靈敏度；磁靈敏度；安裝力矩靈敏度；對特殊環境的響應。（見國家標準 GB/T .1-93）●靈敏度：（Sensitivity）指定的輸出量與指定的輸入量之比。●參考靈敏度：（Reference Sensitivity）在給定的參考頻率和參考幅值下傳感器的靈敏度值。傳感器靈敏度越高，測量系統的信噪比就越大，系統就不易受靜電干擾或電磁場的影響。對某種具體的加速度計設計型式來說，靈敏度越高，則傳感器越重，共振頻率也越低。因此選用多大靈敏度受其重量和頻率響應的制約。一般情況下，傳感器的靈敏度包括幅值與相位兩個信息，是隨頻率變化的復數量。●幅頻響應和相頻響應在輸入的機械振動量值不變的情況下，傳感器輸出電量的幅值隨振動頻率的變化，稱為幅頻響應。而輸出電量的相位隨振動頻率的變化，稱為相頻響應。在工作頻段內連續地改變振動頻率，且維持輸入的機械振動量幅值不變，同時觀測傳感器的輸出，便可測定幅頻響應。若同時測量傳感器輸出電量與輸入機械振動量間的相位差，則又可測定相頻響應。一般情況下，只要求知道幅頻響應。在接近傳感器上、下限頻率處使用傳感器，或有要求時，則必須知道相頻響應。●非線性度在給定的頻率和幅值范圍內，輸出量與輸入量成正比，稱為線性變化。實際傳感器的校準結果與線性變化偏離的程度，稱為該傳感器的非線性度。在由最小值到最大值的傳感器動態范圍內，逐漸增大輸入的機械振動量，同時測量傳感器輸出幅值的變化，便可測定傳感器的輸出值與線性輸出值的偏差量。在使用正弦振動發生器進行測定時，可在傳感器的工作頻率范圍內選定幾個頻率進行，以覆蓋傳感器整個動態范圍。一般在傳感器動態范圍的上限附近傳感器的輸出值與線性值的偏差量最大。所允許的偏差量取決于具體測量的要求。對壓電加速度計，一般用在一定的加速度范圍內，其靈敏度增加的百分數來表示非線性度。壓阻式，變電容式加速度計在其動態范圍內線性度較好，它代表了非線性、滯后和非重復性的綜合值。●質量負載的影響如果加速度計的動態質量接近被測結構物的動態質量，則會使振動產生明顯的衰減。為此在諸如印刷電路板等又薄又輕的片狀構件上測振時，為了得到準確的數據必須采用重量輕的加速度計。如果被測物件呈現單自由度的響應，則加速度計將使其共振頻率下降。在所有的模態試驗中必須使用微型加速度計。●低頻響應使用壓電加速度計時，所用放大器低頻截止頻率多為2－5Hz，目的是以此來剔除許多壓電傳感器的熱釋電輸出。像隔離剪切式設計等隔離性好的設計型式可用在較低的頻率。壓阻式和變電容式加速度計則具有零頻響應。●高頻響應加速度計的高頻響應隨加速度計的機械性能和安裝方法而變。在安裝牢固時，大多數加速度計呈現無阻尼單自由度系統的頻響特性。以±5%為要求的話，其頻率響應約平整到安裝共振頻率的五分之一。如果加適當的修正因數，則可在更高的頻率上得到有用的數據。●溫度響應傳感器靈敏度隨溫度的變化，稱為傳感器的溫度響應。用測試溫度下的靈敏度與室溫下的靈敏度之差相對于室溫靈敏度的百分數來表示。常用壓電加速度計的溫度范圍為零度以下至+177°C 或 +260°C。某些特定型號，低溫可達絕對零度，高溫可達760°C。很多種壓電加速度計設計型式在很寬的溫度范圍內的溫度響應很平。壓阻式、變電容式加速度計的典型溫度范圍為－18°C～+93°C。●壓電傳感器的瞬變溫度靈敏度具有熱釋電效應的傳感器在瞬變溫度作用下將產生電輸出，該輸出的最大值與傳感器靈敏度和溫度改變量乘積的比值稱為瞬變溫度靈敏度。在溫度產生變化時，壓電元件會產生輸出信號，這稱之為熱釋電效應。試件或氣流溫度的突變會引起這種溫度變化。大多數情況下這種效應是很低頻的，只有信號適調儀的響應在1赫以下，才能檢測到。如果信號適調儀有級間高通濾波器，則應特別注意，熱釋電信號可能會使放大器飽和，使它短時間不工作。基座隔離式，剪切式，隔離剪切式設計的熱釋電效應較小。壓阻式，變電容式的這種效應是可以忽略的。●橫向靈敏度對于單向測量來說，要求加速度計不得對被測物體的橫向運動產生任何響應是十分必要的。但加速度計不可能是完美無缺的，總是有一定的橫向靈敏度，它與橫向振動的方向有關，其橫向靈敏度一般為軸向靈敏度的1～5%。恩德福克對每個加速度計進行橫向靈敏度校準并給出其最大值。●橫向靈敏度比在與傳感器靈敏軸垂直的方向上受到激勵時傳感器的靈敏度，稱為橫向靈敏度。橫向靈敏度與沿靈敏軸方向上的靈敏度之比，稱為橫向靈敏度比。●旋轉運動靈敏度某些直線振動傳感器對旋轉運動是敏感的。在進行試驗時必須小心。以免造成測量誤差。●基座應變靈敏度在傳感器基座產生應變時會引起不應有的信號輸出，該輸出值與傳感器靈敏度和應變值乘積的比值，稱為基座應變靈敏度。在某些試驗中，加速度計安裝處可能會存在動態彎曲、扭轉、拉伸等。由于與應變區緊密接觸，加速度計底座也會發生應變。部分應變會傳給敏感元件，從而產生與振動運動無關的輸出信號。剪切式設計的加速度計要比壓縮式的對基座應變的敏感程度小一個數量級。應用絕緣安裝螺釘或粘貼式轉接件可以減小這種影響。●磁靈敏度傳感器被置于磁場中會產生的不應有的信號輸出，該輸出值與傳感器靈敏度和磁場的磁感應強度乘積的比值，稱為傳感器的磁靈敏度。●安裝力矩靈敏度采用螺紋安裝的傳感器，安裝力矩的變化會引起靈敏度發生變化。施加1/2倍規定安裝力矩或施加2倍規定安裝力矩時的靈敏度與施加規定安裝力矩時的靈敏度之最大差值，相對于施加規定安裝力矩時靈敏度的比值的百分數，稱為安裝力矩靈敏度。●特殊環境的響應在強靜電場、交變磁場、射頻場、聲場、電纜影響、核輻射等的特殊環境下，某些傳感器會受到嚴重的影響，這些物理因素將引起傳感器產生亂真響應。
加速度傳感器選型指南
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加速度傳感器輸出型式
這個是最先需要考慮的。這個取決于你系統中和加速度傳感器之間的接口。一般模擬輸出的電壓和加速度是成比例的，比如2.5V對應0g的加速度，2.6V對應于0.5g的加速度。數字輸出一般使用脈寬調制（PWM）信號。如果你使用的微控制器只有數字輸入，比如BASIC Stamp，那你就只能選擇數字輸出的加速度傳感器了，但是問題是你必須占用額外的一個時鐘單元用來處理PWM信號，同時對處理器也是一個不小的負擔。如果你使用的微控制器有模擬輸入口，比如PIC/AVR/OOPIC，你可以非常簡單的使用模擬接口的加速度傳感器，所需要的就是在程序里加入一句類似"acceleration=read_adc()"的指令，而且處理此指令的速度只要幾微秒。
加速度傳感器測量軸數量
對于多數項目來說，兩軸的加速度傳感器已經能滿足多數應用了。對于某些特殊的應用，比如UAV，ROV控制，三軸的加速度傳感器可能會適合一點。
加速度傳感器最大測量值
如果你只要測量機器人相對于地面的傾角，那一個±1.5g加速度傳感器就足夠了。但是如果你需要測量機器人的動態性能，±2g也應該足夠了。要是你的機器人會有比如突然啟動或者停止的情況出現，那你需要一個±5g的傳感器。
加速度傳感器靈敏度
一般來說，越靈敏越好。越靈敏的傳感器對一定范圍內的加速度變化更敏感，輸出電壓的變化也越大，這樣就比較容易測量，從而獲得更精確的測量值。最小加速度測量值也稱最小分辨率，考慮到后級放大電路噪聲問題，應盡量遠離最小可用值，以確保最佳信噪比。最大測量極限要考慮加速度計自身的非線性影響和后續儀器的最大輸出電壓，估算方法：最大被測加速度×傳感器的電荷 / 電壓靈敏度。以上數值是否超過配套儀器的最大輸入電荷 / 電壓值，建議如已知被測加速度范圍可在傳感器指標中的“參考量程范圍”中選擇（兼顧頻響、重量），同時，在頻響、重量允許的情況下，靈敏度可考慮高些，以提高后續儀器輸入信號，提高信噪比。
加速度傳感器帶寬
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這里的帶寬實際上指的是刷新率。也就是說每秒鐘，傳感器會產生多少次讀數。對于一般只要測量傾角的應用，50HZ的帶寬應該足夠了，但是對于需要進行動態性能，比如振動，你會需要一個具有上百HZ帶寬的傳感器。
加速度傳感器電阻/緩存機制
對于有些微控制器來說，要進行A/D轉化，其連接的傳感器阻值必須小于10kΩ。比如加速度傳感器的阻值為32kΩ，在PIC和AVR控制板上無法正常工作，所以建議在購買傳感器前，仔細閱讀控制器手冊，確保傳感器能夠正常工作。
加速度傳感器累積誤差
加速度傳感器通過在一個時間段內測量一次加速度，然后根據以前累積下來的速度（包括速率和方向）和位置，計算前一段時間的總位移和終點速度。如此反復計算就可以得到結果。很明顯，取樣時間縮短，精度會提高。但這會受到一些技術限制，比如計算機運算速度跟不上；加速度傳感器本身存在響應時間等等。此外，由于速度和位置總是累加的，這就存在累積誤差，時間長了，總的精度就下降得很大。
加速度傳感器安裝注意事項
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加速度傳感器的自然頻率由粘接的耦合程度決定，選擇正確的粘合劑將是很重要的一步。有些重要的問題是必須要考慮的是：加速度傳感器的重量，測試時的頻率和帶寬，測試時的振幅和溫度。還要考慮一些測試過程中會出現的問題：正弦曲線的受限和測試中出現的隨機振動。通常，工程師和技師將會根據測試不同的需求選擇合適的粘接劑來粘接加速度傳感器。加速度傳感器的粘接安裝用到的粘接劑，一般有氰基丙烯酸鹽,磁鐵，雙面膠帶，石蠟，熱粘接劑等。問題的關鍵在于如何能夠有效的使用這些粘接劑。在加速度傳感器的粘接過程中，粘合劑的使用量對在加速度傳感器能否達到良好的頻率響應中起到很關鍵的作用。在一塊小的薄膜上盡可能的用最少的粘接劑粘接加速度傳感器，將會使得加速度傳感器頻率響應傳送性最好。在安裝傳感器之前要用碳氫化合溶液來清潔其要安裝的表面，在安裝傳感器的時候通常要用到氰基丙烯酸鹽, 磁鐵，雙面膠帶，石蠟，將其均勻地涂抹在粘接加速度計被粘表面，不能太厚或太薄，合適的厚度會起到良好的粘接效果。熱粘接劑的使用有很多的注意事項，最重要的是要注意安裝過程中熱粘接劑的凝固時間。當然我們用粘接安裝時需要注意的是在接近最大極限溫度時最好不要用粘接劑，應該延遲一段時間再使用，否則會使粘接劑本身被損壞，導致粘接劑抗拉強度降低。無論如何當我們要用粘接法安裝加速度傳感器時所有極限因素都要考慮進去。同樣，以上加速度傳感器的安裝只是針對大部分情況而言，一些特殊設備上測量加速度需要用到最合適的傳感器安裝方式。
加速度傳感器前景預測
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咨詢公司INTECHNOCONSULTING的傳感器市場報告顯示，2008年全球傳感器市場容量為506億美元，預計2010年全球傳感器市場可達600億美元以上。調查顯示，東歐、亞太區和加拿大成為傳感器市場增長最快的地區，而美國、德國、日本依舊是傳感器市場分布最大的地區。就世界范圍而言，傳感器市場上增長最快的依舊是汽車市場，占第二位的是過程控制市場，看好通訊市場前景。一些傳感器市場比如壓力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器、水平傳感器已表現出成熟市場的特征。流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器的市場規模最大，分別占到整個傳感器市場的21%、19%和14%。傳感器市場的主要增長來自于無線傳感器、MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems，微機電系統)傳感器、生物傳感器等新興傳感器。其中，無線傳感器在2007-2010年復合年增長率預計會超過25%。全球的傳感器市場在不斷變化的創新之中呈現出快速增長的趨勢。有關專家指出，傳感器領域的主要技術將在現有基礎上予以延伸和提高，各國將競相加速新一代傳感器的開發和產業化，競爭也將日益激烈。新技術的發展將重新定義未來的傳感器市場，比如無線傳感器、光纖傳感器、智能傳感器和金屬氧化傳感器等新型傳感器的出現與市場份額的擴大。電容傳感器有望有一個強勁的增長，2004年后增長將會更快，估計從1997年到2007年綜合年增長率為5.9%,其中最高可達33.2%，其市值2000年為0.75億美元，到2007年將達到1.1億美元。來自歐洲和北美洲的汽車業和工業用戶是這些產品的主要購買者。2000年的市場上北美占40.4%，歐洲占48.9%。汽車行業使用電容式傳感器主要用于安全系統、輪胎磨損監測、慣性剎車燈、前燈水準測量、安全帶伸縮、自動門鎖和安全氣囊。對于設計人員來說，電容式傳感器是非常有吸引力的，因為它無需接觸待測物，所以不必擠進狹窄的空間中。
加速度傳感器最新發展
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隨著智能手機等的普及，要求設備具備更高的功能和可設計性，在這種情況下，對組件的高度集成化和小型化的需求強勁。另外，高性能化導致電池的消耗增加，因此，對于搭載在設備上的各種元器件，要求具備更低的功耗。業界最小尺寸的加速度傳感器最高分辨率達到14bit，具有低功耗、 耐沖擊性高及可編程的待機喚醒功能，能夠進行傾斜檢測、運動檢測等；而另外一款高性能、低功耗、低成本、低噪音的加速度傳感器具有高穩定性，最高分辨率達4bit的特點，可高精度傾斜檢測、運動檢測等，此兩種設備主要應用于智能手機、平板/筆記本電腦、數碼相機、游戲機及其他小型民生設備。智能手機和游戲機等具有更多感官性運動的設備操作需求高漲，另外，出現了智能電視用的運動遙控等新需求。在這些運動檢測中，使用了歷來使用的加速度傳感器，還增加了陀螺儀，提高了操作感受。小型封裝陀螺儀采用FIFO緩沖區，可減少來自微控制器的訪問頻率，具備旋轉運動檢測功能。而隨著加速度傳感器、陀螺儀進一步普及，同時在小型設備中使用案例日益增加。單芯片化以及在1個系統的通信接口一起使用2個傳感器的需求不斷增加。小型封裝的3軸加速度傳感器和3軸陀螺儀的復合傳感器的漸漸出現，不但具有以上小型封裝陀螺儀的各種特點和功能，同時還擁有業界領先的低耗電量，僅為4mA。他們多應用于智能手機、平板電腦、游戲機、遙控器、PND及其他小型民生設備。
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羅姆集團推出內置噪聲過濾功能的加速度傳感器
據麥姆斯咨詢報道，全球知名半導體制造商羅姆（ROHM）集團旗下的Kionix, Inc.（總部位于美國紐約州伊薩卡）開發出兩款MEMS加速度傳感器：“KX132-1211”和“KX134-1211”，非常適用于工業設備和可穿戴式設備等需要高精度且低功耗地進行運動傳感的應用。...
2019-10-311
無錫華芯科技
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加速度傳感器的選型要點
加速度傳感器是一種能感受加速度并轉換成可用輸出信號的傳感器，具有測量精準、性能穩定、可靠性高、使用靈活等優點，被廣泛用于多個領域中。加速度傳感器應該如何選型呢？下面具體介紹一下加速度傳感器的選型方法。1、輸出型式這個是最先需要考慮的。這個取決于你系統中和加速度傳感器之間的接...
2020-07-310
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加速度傳感器有什么作用？加速度傳感器的應用場景介紹
加速度傳感器是一種能感受加速度并轉換成可用輸出信號的傳感器，具有測量精準、性能穩定、可靠性高、使用靈活等優點，被廣泛用于多個領域中，傳感器是一種將非電量（如速度、壓力）的變化轉變為電量變化的原件，根據轉換的非電量不同可分為壓力傳感器、速度傳感器、溫度傳感器等，是進行測量、控...
2021-03-290
電氣新科技
媒體人,《電氣技術》雜志社有限公司,科技領域愛好者
用振動法監測變壓器鐵心狀況時加速度傳感器的最佳位置選擇
國網河北省電力公司保定供電分公司、東北電力大學電氣工程學院的研究人員劉勝軍、程成、沈辰、龔樂樂、蔡新景，在2019年第10期《電氣技術》雜志上撰文指出，鐵心松動是變壓器的常見故障。當鐵心松動時，由硅鋼片磁致伸縮引起的鐵心振動信號發生變化，傳遞到箱體表面的振動信號也會隨之發生...
2019-11-050
百洲科技
百洲科技（廣州）有限公司
日本kyowaASE-A小型加速度傳感器汽車碰撞試驗用
日本kyowa加速度傳感器ASE-A測量車身、零部件以及假人的加速度.特點小型、輕量由沖擊加速度產生的共振影響小通過專用支架(另售), 可以安裝在行人頭部保護試驗的頭部模型中。額定容量：±980.7～±9807m/s2尺寸：10×5×10...
2019-09-090
參考資料
1.
蘋果新專利：在耳機中塞進加速傳感器
．新華網[引用日期2014-04-26]
最常用的振動加速度傳感器是壓電式加速度計。這種類型的傳感器具有非常廣泛的動態測量范圍。還有很多其他類型的加速度計被用于測量很低頻率的加速度，例如汽車的制動，提升機的運行狀態，甚至于地球產生的重力加速度。這些測量項目主要依靠壓阻、電容和伺服技術。
壓電式加速度傳感器
壓電式加速度計堅固耐用，結構緊湊，頻率響應范圍寬，適用于監測滾動軸承等很高頻率的振動。壓電式加速度傳感器是慣性式傳感器，采取在機器外殼安裝的結構。
壓電傳感器這些固有特性是因為使用壓電材料作為敏感元件。傳感器的震蕩質量塊在加速度作用下產生慣性力，這個力對具有一定剛度的壓電元件產生壓電效應。在低于震蕩質量固有頻率的一個頻率范圍內，傳感器輸出的電量與加速度成正比。壓電加速度計的典型頻率響應如下圖所示。
壓電效應與壓電材料
某些材料受到一定方向的外力F而發生變形時，在一定表面上產生電荷q，當外力撤銷后，恢復到不帶電狀態，這種現象稱為壓電效應。相反，如果這些材料在極化方向被外電場作用，就會在一定方向產生機械變形或應力，如果撤除外電場，這些變形或應力也隨之消失，這種現象稱為逆壓電效應，即電致伸縮效應。壓電敏感元件是由壓電材料表面鍍金屬膜構成的，其等效電路為電容器，如下圖所示。
如果從晶體中切下一個平行六面體，并使其晶面分別平行于z、y和z軸。這個晶片在自然狀態下不顯電性，受外力作用時，將沿x軸方向形成電場，其電荷分布于垂直于z軸的平面。沿z軸方向加力F、產生縱向壓電效應，沿 y軸加力F，產生橫向壓電效應，沿相對兩平面加力產生切向壓電效應，如下圖所示。
根據傳感器的工作模式，壓電加速度計可以分為兩種主要類型∶內置電子儀器壓電型，即 IEPE（Internal electronic piezoelectric，內置電子儀器的壓電型）型，包含內置微電子信號調理器;而電荷型加速度計只有自源式的壓電敏感元件。
電阻/壓阻式加速度傳感器
電阻式加速度計使用應變計作為敏感元件。當底座被加速時，通過懸臂梁傳送的力使質量塊產生加速度。用應變計測量梁的撓曲，為取最大靈敏度，通常采用壓阻式應變計，并且由四個應變計組成惠斯登電橋。在殼體內灌注阻尼流體，作為振蕩阻尼。這種加速度計的測量范圍達到士1000g。然而，它的固有頻率一般較低，使用頻率的上限僅為幾百赫茲。雖然某些產品的頻率上限可達1～2kHz，但是比壓電傳感器的頻率上限低很多。應變計加速度計的價格比壓電加速度計便宜很多。
現代壓阻加速度計采用 MEMS（Micro-electro- mechanical Systems，微型機電系統）技術制造。在這種加速度計中，應變計被直接擴散到撓曲元件上，因此半導體硅既是撓曲原件又是傳感元件。因為撓曲原件的剛度大，所以頻率范圍廣。同時具有尺寸小，靈敏度高（壓阻應變計的靈敏系數是金屬應變計的 25～50 倍），信噪比大，線性和穩定性好的特點。如果進行適當的溫度補償，工作溫度為一20～120℃。
電容式加速度傳感器
MEMS電容式加速度計的敏感元件用靜電鍵合工藝構成平板電容器，具有頻響范圍寬，低頻直至零頻，性能穩定，結構堅固，使用方便的特點。內置電子電路，提供高電平、低阻抗輸出。雖然設計的加速度測量值較低，但是能夠承受很大的加速度沖擊。適用于彈道監視、結構評估、顫振試驗，汽車懸架和制動器試驗等應用。
伺服式加速度傳感器
伺服式加速度計即力平衡式加速度計，其工作原理如下圖所示。
在這種裝置中，加速度引起擺塊的輕微移動。該移動被位置敏感元件測量，并且通過反饋網絡產生驅動扭矩馬達的電壓，使得擺塊向回移動，接近它的初始位置。所需的扭矩與加速度成正比，所以用于驅動扭矩馬達的電壓就是加速度的度量。伺服加速度計非常精準，大量地應用于飛機導航系統和衛星控制系統。它的線加速度測量范圍可達到 50g，并且還可以測量角加速度。由于其固有頻率低，通常低于200Hz，所以主要用于靜態和低頻的測量。
三軸加速度傳感器原理
MEMS換能器（Transducer）可分為傳感器（Sensor）和致動器（Actuator）兩類。其中傳感器會接受外界的傳遞的物理性輸入，通過感測器轉換為電子信號，再最終轉換為可用的信息，如加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器等。其主要感應方式是對一些微小的物理量的變化進行測量，如電阻值、電容值、應力、形變、位移等，再通過電壓信號來表示這些變化量。致動器則接受來自控制器的電子信號指令，做出其要求的反應動作，如光敏開關、MEMS顯示器等。
目前的加速度傳感器有多種實現方式，主要可分為壓電式、電容式及熱感應式三種，這三種技術各有其優缺點。以電容式3軸加速度計的技術原理為例。電容式加速度計能夠感測不同方向的加速度或振動等運動狀況。其主要為利用硅的機械性質設計出的可移動機構，機構中主要包括兩組硅梳齒（Silicon Fingers），一組固定，另一組隨即運動物體移動；前者相當于固定的電極，后者的功能則是可移動電極。當可移動的梳齒產生了位移，就會隨之產生與位移成比例電容值的改變。
當運動物體出現變速運動而產生加速度時，其內部的電極位置發生變化，就會反映到電容值的變化（ΔC），該電容差值會傳送給一顆接口芯片（InteRFace Chip）并由其輸出電壓值。因此3軸加速度傳感器必然包含一個單純的機械性MEMS傳感器和一枚ASIC接口芯片兩部分，前者內部有成群移動的電子，主要測量XY及Z軸的區域，后者則將電容值的變化轉換為電壓輸出。
文中所述的傳感器和ASIC接口芯片兩部分都可以采用CMOS制程來生產，而在目前的實際生產制造中，由于二者實現技術上的差異，這兩部分大都會通過不同的加工流程來生產，再最終封裝整合到一起成為系統單封裝芯片（SiP）。封裝形式可采用堆疊（Stacked）或并排（Side-by-Side）。
手持設備設計的關鍵之一是尺寸的小巧。目前ST采用先進LGA封裝的加速度傳感器的尺寸僅有3 X 5 X 1mm，十分適合便攜式移動設備的應用。但考慮到用戶對尺寸可能提出的進一步需求，加速度傳感器的設計要實現更小的尺寸、更高的性能和更低的成本；其檢測與混合訊號單元也會朝向晶圓級封裝（WLP）發展。
下一代產品的設計永遠是ST關注的要點。就加速度傳感器的發展而言，單芯片結構自然是必然的趨勢之一。目前將MEMS傳感器與CMOS接口芯片整合的過程是最耗費成本的加工環節，如果能實現單芯片的設計，其優點不言而喻，封裝與測試的成本必然會大幅度降低。
加速度傳感器選用要點
加速度傳感器針對不同的應用場景，也在特性上體現為不同的規格。用戶需根據自身的具體需要選取最適合的產品。如上文提到的汽車車身沖擊傳感器或洗衣機等家電的振動傳感器等來說，需選用高頻（50~100Hz）的加速度傳感器；對于硬盤的跌落和振動保護，需要中頻（20~50Hz）以上的加速度傳感器；而手持設備的姿態識別和動作檢測只需低頻（0~20Hz）產品即可。
線形加速度傳感器的選取還需要考慮滿量程（Full Scale，FS）、靈敏度及解析度等元件的特性。滿量程表示傳感器可測量的最大值和最小值間的范圍；靈敏度與ADC等級有關，是產生測量輸出值的最小輸入值；解析度則表示了輸入參數最小增量。
除此之外，加速度傳感器按輸出的不同還可分為模擬式和數字式兩種。其中模擬式加速度傳感器輸出值為電壓，還需要在系統中添加模數轉換（ADC）；數字式加速度傳感器的接口芯片中已經集成了ADC電路，可直接以SPI或I2C等實現數字傳輸。數字式產品在成本上也有一定優勢，因為高質量ADC通常比較昂貴，價格甚至可超過傳感器部分的單獨售價。
三軸加速度傳感器的應用
1、車身安全、控制及導航系統中的應用
加速度傳感器在進入消費電子市場之前，實際上已被廣泛應用于汽車電子領域，主要集中在車身操控、安全系統和導航，典型的應用如汽車安全氣囊（Airbag）、ABS防抱死剎車系統、電子穩定程序（ESP）、電控懸掛系統等。
目前車身安全越來越得到人們的重視，汽車中安全氣囊的數量越來越多，相應對傳感器的要求也越來越嚴格。整個氣囊控制系統包括車身外的沖擊傳感器（Satellite Sensor）、安置于車門、車頂，和前后座等位置的加速度傳感器（G-Sensor）、電子控制器，以及安全氣囊等。電子控制器通常為16位或32位MCU，當車身受到撞擊時，沖擊傳感器會在幾微秒內將信號發送至該電子控制器。隨后電子控制器會立即根據碰撞的強度、乘客數量及座椅/安全帶的位置等參數，配合分布在整個車廂的傳感器傳回的數據進行計算和做出相應評估，并在最短的時間內通過電爆驅動器（Squib Driver）啟動安全氣囊保證乘客的生命安全。
除了車身安全系統這類重要應用以外，目前加速度傳感器在導航系統中的也在扮演重要角色。專家預測便攜式導航設備（PND）將成為中國市場的熱點，其主要利于GPS衛星信號實現定位。而當PND進入衛星信號接收不良的區域或環境中就會因失去信號而喪失導航功能。基于MEMS技術的3軸加速度傳感器配合陀螺儀或電子羅盤等元件一起可創建方位推算系統（DR, Dead Reckoning），對GPS系統實現互補性應用。
2、硬盤抗沖擊防護
目前由于海量數據對存儲方面的需求，硬盤和光驅等元器件被廣泛應用到筆記本電腦、手機、數碼相機/攝相機、便攜式DVD機、PMP等設備中。便攜式設備由于其應用場合的原因，經常會意外跌落或受到碰撞，而造成對內部元器件的巨大沖擊。
為了使設備以及其中數據免受損傷，越來越多的用戶對便攜式設備的抗沖擊能力提出要求。一般便攜式產品的跌落高度為1.2~1.3米，其在撞擊大理石質地面時會受到約50KG的沖擊力。雖然良好的緩沖設計可由設備外殼或PCB板來分解大部分沖擊力，但硬盤等高速旋轉的器件卻在此類沖擊下顯得十分脆弱。如果在硬盤中內置3軸加速度傳感器，當跌落發生時，系統會檢測到加速的突然變化，并執行相應的自我保護操作，如關閉抗震性能差的電子或機械器件，從而避免其受損，或發生硬盤磁頭損壞或刮傷盤片等可能造成數據永久丟失的情況。
3、消費產品中的創新應用
3軸加速度傳感器為傳統消費及手持電子設備實現了革命性的創新空間。其可被安裝在游戲機手柄上，作為用戶動作采集器來感知其手臂前后、左右，和上下等的移動動作，并在游戲中轉化為虛擬的場景動作如揮拳、揮球拍、跳躍、甩魚竿等，把過去單純的手指運動變成真正的肢體和身體的運動,實現比以往按鍵操作所不能實現的臨場游戲感和參與感。
此外，3軸加速度傳感器還可用于電子計步器，為電子羅盤（3D Compass）提供補償功能，也可用于數碼相機的防抖。以上提到的種種創新應用使其成為下一代產品設計中必不可少的元件。
1．姿態與動作識別
3軸加速度傳感器的應用范圍很廣，除了文中提到的游戲動作操控外，還能用于手持設備的姿態識別和UI操作。例如借助3軸加速度傳感器，手持設備可實現畫面自動轉向。iPod Touch就內建了此功能，設備顯示的畫面和信息會根據用戶的動作而自動旋轉。其通過內部傳感器對重力向量的方向檢測來確定設備處于水平或垂直狀態，并自動調整顯示狀態，給用戶帶來方便。
傳感器對震動的感知性能也可將以前傳統的按鍵動作變化為震動，用戶可通過單次或多次震動來進行功能的選擇，如曲目的選擇、音量控制等。此外，該功能還可擴展至對用戶界面元素的操控。如屏幕顯示內容的上下左右等方向的瀏覽可通過傾斜手持設備來完成。
2．趣味性擴展功能
3軸加速度傳感器對用戶操控動作的轉變還可轉化為許多趣味性的擴展功能上，如虛擬樂器、虛擬骰子游戲，以及“閃訊”（Wave Message）等。虛擬樂器內置的加速度傳感器可檢測用戶對手持設備的揮動來控制樂器的節奏和音量等；骰子游戲也采用類似的原理，通過對揮動等動作的感知來控制虛擬骰子的旋轉速度，并借助內部數學模型抽象的物理定律決定其停止的時間。
“閃訊”是一個更富有想象力的應用，用戶可利用此功能在空中進行文字編輯。“閃訊”即讓手持設備通過加速度傳感器捕捉用戶在空中模擬寫字的快速動作，主要適合較暗的環境下使用。手持設備上會安裝發光的LED，由于人眼視網膜的視覺暫留現象，其在空中揮動的動作會在其眼中留下短暫的連續畫面，完成寫字的所有動作筆順。
3．功耗控制
功耗一直是便攜設備設計中要考慮的重要因素，內置3軸加速度傳感器則使設備可通過檢測設備的使用狀況來對其用電模式加以控制，從而有效延長電池的使用時間。
Thelma制程技術
成熟的制程技術是3軸加速度傳感器和其他MEMS產品在消費電子產品市場成功的關鍵之一。目前，為了達到產量及質量控制的嚴格要求，充分利用全球半導體產業界的制造和材料資源，以及生產流程控制經驗，MEMS類元器件大多采用標準的CMOS半導體制造技術，這樣不但能使其生產制造從規模經濟中受惠，還能讓MEMS元器件隨光照制程的微型化先進制程不斷演進和發展，產品體積更小。
然而在制程技術上，MEMS類組件的生產與其它一般芯片有所差異。早期的MEMS產品制造中多采用單晶硅為材料，和比較簡單且穩定的體型微加工（Bulk Micro-Machining）技術，缺點是制造成本較高。目前的制造技術比較接近集成電路半導體的制程，多采用多晶硅表面微加工（SuRFace Micro-Machining）科技，使成本有效降低，而且加工的精度和分辨率均更加出色。
各廠家的MEMS類元件制程技術雖然在工藝和加工設備上較類似，大都采用文中提到的CMOS制程與表面微加工技術，但為了與自身的生產制造特點相符，制造商往往會根據自己的經驗開發出其特有的生產加工平臺及相應的流程，以實現縮短生產周期、提高產品質量和降低加工成本的目的。
Thelma制程技術，即厚磊晶層（Thick Epitaxial Layer for Micro-Gyroscopes and Accelerometer）技術，是ST發展出的專有表面為加工制程，主要針對高靈敏度、高探測范圍的加速度傳感器和陀螺儀等MEMS元器件的生產加工。其通過運用深度蝕刻技術及犧牲層（Sacrificial-Layer）等理論，可在微型裝置中加工出能實現各種動作的精密機械機構。Thelma制程技術主要包含六個主要步驟：基底熱氧化、水平互連的沉積與表面圖樣化(Patterning)、犧牲層的沉積與表面圖樣化、結構層的磊晶生長、用通道蝕刻將結構層圖樣化、以及犧牲層的氧化物去除，與接觸金屬化沉積。
多晶硅材料具有良好的耐疲勞性及抗沖擊性，且采用CMOS制程除了能帶來較低的成本、更穩定的加工流程，芯片與傳感器的功能相獨立還保證了設計上的靈活性。獨特的Thelma技術還可提供完整的鑄模封裝，使生產出的元器件具有極可靠的物理性質，能制造出最佳的制止器（Stopper），降低電極之間的靜電摩擦等風險。與傳統工藝相比較，Thelma技術可以減少芯片面積，因而克服體型微加工過程中常見的設計局限。此外，其會生長出一塊厚度約15微米（um）的多晶硅磊晶層。該硅結構在增加厚度的同時也增加了垂直表面積，因而增大平行于基底的靜電啟動器的總電容值。
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訂貨號：T系列-TP及TH位移傳感器 SSI輸出
型號：T系列-TP及TH位移傳感器 Start/Stop輸出
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訂貨號：T系列-TP及TH位移傳感器 Start/Stop輸出
型號：T系列-TP及TH位移傳感器 Profibus-DP總線輸出
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訂貨號：T系列-TP及TH位移傳感器 Profibus-DP總線輸出
型號：T系列-TP及TH位移傳感器CANopen總線輸出
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訂貨號：T系列-TP及TH位移傳感器CANopen總線輸出
型號：T系列-TP及TH位移傳感器 模擬量輸出
價格：面議
庫存：10
訂貨號：T系列-TP及TH位移傳感器 模擬量輸出
