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　　引 言：

　　隨 著大功率激光器技術的發展，激光與材料相互作用研究的深入，激光加工已經成為加工領域中的一種常用技術。近年來，皮秒激光器在各種材料的微加工中獲得越來 越多的應用。微加工通常針對的是微米級別的加工需求，如金屬表面處理，同時還要避免對周邊材料造成熱損傷。微加工的目的就是獲得精細、干凈的切口，而且熱 影響區（HAZ）最小。皮秒脈沖激光器的脈沖寬度之短、足以避免能量發生熱擴散并達到這些消融臨界過程所需要的峰值能量密度，因此在該加工應用領域具有眾多優勢。SPARK LASERS 紅外皮秒激光器基于其超短脈沖、高功率、高脈沖能量等優勢，在材料微加工領域有著廣泛的應用。

　　1. 議題

　　可行性實驗的主要目的是使用皮秒激光器通過絕緣膜（陶瓷）清晰劃線，顯示不銹鋼的一些規格：

　　干凈、選擇性清除

　　膜涂層無熱影響區域

　　激光對不銹鋼無損傷

　　我們需要實現膜上凹槽不同寬度（50、200和1000um）。以最好的工藝參數，我們處理特定的包含3個凹槽的刻線模式，長度100mm；相鄰間隔6mm、依次翻倍即12mm、24mm。3個凹槽組成的每組之間間隔為10 mm。

　　2. 技術選擇

　　如下為選用的激光器的主要特點：

　　3. 可行性試驗

　　為了確定最好的加工窗口用于不銹鋼上膜的移除，我們改變不同的實驗參數如下：

　　" 脈沖能量

　　" 平均功率

　　" 重復頻率

　　" 掃描速度

　　" 迭代次數

　　使用低重復頻率（25 kHz）減少基質上的熱積累，因此可獲得更好質量的凹槽（無熱影響區、毛糙…….）

　　4. 度量

　　陶瓷樣品

　　50 um槽寬：