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　　“MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)微機電系統(tǒng)正發(fā)展成為一個巨大的產業(yè)。微機電系統(tǒng)則是指微小的機械電子系統(tǒng)，例如比一?；ㄉ走€要小的飛機或汽車，是由很多只有幾百微米大小的零件組成的，而這些零件是用微電子等微細加工技術制備出來的，既包含機械部件又包含電子部件。

　　小身材，大用途，看看麻省理工開發(fā)的生產這些微型系統(tǒng)的新辦法吧～”

　　MEMS的特點可歸結為三“M”,即微小型化(miniaturization)、多樣性(multiplie-ity)和微電子技術(mieroeleetronies)。MEMS技術通過微型化和集成化開辟了一個全新的領域和產業(yè),它可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務,也可嵌人大尺寸系統(tǒng)中, 把自動化、智能化和可靠性提高到一個新的水平。

　　MEMS的特點是微小但功能強大，雖然身材“短小”，其尺寸通常為1至100微米，但其在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們所接觸到的所有領域中都有著十分廣闊的應用前景。

　　例如微加速度計可以用于汽車的安全氣囊，當汽車發(fā)生碰撞等交通事故時，汽車的加速度會很大，這時通過微加速度計可以判斷是否發(fā)生撞車事故。若發(fā)生交通事故，微加速度計即可以發(fā)出指令，使安全氣囊及時彈出，保護司機和乘客的安全。又如，微慣性傳感器及其組成的微型慣性測量組合系統(tǒng)能應用于制導系統(tǒng)、衛(wèi)星控制系統(tǒng)、汽車自動駕駛儀、汽車防抱死系統(tǒng)(ABS)、穩(wěn)定控制系統(tǒng)和玩具；微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進、傷員救護。MEMS系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、高密度存儲和顯示、光譜分析、信息采集等等?，F(xiàn)在已經成功地制造出了尖端直徑為5μm的可以夾起一個紅細胞的微型鑷子，3mm大小的能夠開動的小汽車，可以在磁場中飛行的像蝴蝶大小的飛機等。