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加速度傳感器廣泛應(yīng)用在消費電子、汽車電子中，同時在醫(yī)療領(lǐng)域也有不少應(yīng)用。早前基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器，提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法，研制出一種簡單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。

SCA600C13H1G硅電容式加速度傳感器是由單晶硅和玻璃制成。這種設(shè)計能夠保證，隨著時問和溫度的變化，產(chǎn)品具有很好的可靠性、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。它的電容檢測原理簡單而且可靠，是基于兩個平行板間距的變化來測量的。。

近日歐姆龍健康醫(yī)療公司在東京都內(nèi)召開了記者發(fā)布會，發(fā)布了監(jiān)測睡眠狀態(tài)的產(chǎn)品“歐姆龍睡眠時間計HSL-002C”。該產(chǎn)品只需放在枕邊即可監(jiān)測用戶的睡眠狀態(tài)。利用內(nèi)置的加速度傳感器檢測寢具的運動，從而監(jiān)測從入眠到起床的睡眠時間。此次的機型新增了監(jiān)測睡眠中翻身動作的功能。

利用加速度傳感器記錄睡眠中翻身頻率以及動作，把監(jiān)測到的數(shù)據(jù)發(fā)送至智能手機應(yīng)用“睡眠體內(nèi)時鐘”，能顯示一天24小時當(dāng)中的睡眠時間、入睡所需時間以及夜里翻身的圖譜。根據(jù)“睡眠時間”、“起床時刻”、“就寢時刻”、“入睡時間”、“起床所花時間”五個指標(biāo)對發(fā)送至手機應(yīng)用的一周的數(shù)據(jù)進行評價，將睡眠特征比作9種動物進行判定。

VTI的加速度傳感器是基于已經(jīng)得到證明的3DMEMS技術(shù)制作的。三維微電子機械系統(tǒng)（3D-MEMS），是各種技術(shù)的創(chuàng)新性組合，可以將硅加工成三維結(jié)構(gòu)，其封裝和觸點便于安裝和裝配，用這種技術(shù)制作的傳感器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。一個高級的傳感器僅由一小片硅就能制作出來，并能測量三個互相垂直方向的加速度。