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紫外氧化方法過程如下：

進水水流流經第一個電導率傳感，接著流過UV氧化反應器，水中的有機物被氧化成CO₂，再次流經第二個電導率傳感，兩次電導率的變化即反映水中TOC的含量。

其原理是：水中的某些分子流經UV氧化反應器時，從UV輻射吸收能量后，其化學鍵斷裂產生自由基，而自由基是具有很高活性的物質，可以氧化有機分子。自由基使有機物電離，隨后產生水的電導率變化。

更細一點區分，紫外氧化法又可分為全氧化法和部分氧化法二種。顧名思義，前者就是把被測水中的有機物100%氧化，直到電導率不再變化，測出TOC值。完全氧化水中的有機物，對檢測裝置的要求極高，氧化時間至少需要5分鐘以上，測的是氧化曲線，所以結果也更準確。而后者只是氧化了被測水中的部分有機物，從而推算水中的TOC值，檢測的是點，氧化時間很短，幾乎是即時顯示結果。這種氧化方法的檢測結果與實際值誤差較大，無法準確的反應實際TOC值。

目前的純水器市場，部分高端水機具備TOC檢測功能，那么，如何區分它采用的是全氧化法還是部分氧化法呢？這里介紹兩個簡單的辨別方法：

1.從結構上看，全氧化法檢測的是氧化曲線，檢測單元與紫外燈合為一體；部分氧化法檢測的是點，檢測單元與紫外燈互相獨立。

2.從檢測時間上看，全氧化法檢測一個結果至少需要5分鐘以上，甚至更多（為確保有機物100%轉換），部分氧化法幾乎是即時顯示結果。

水中有機物的成分復雜：小分子、大分子、蛋白質、微生物。各種有機物氧化需要消耗的能量不同，部分氧化法無法準確估算水中的各類有機物成分，所以，它的檢測結果與實際值誤差較大。可以這樣想象：部分氧化就是一個漁夫，用漁網捕魚，來推測魚池中有一共有多少魚，全部氧化就是把魚池抽干，所有魚都清點一遍。都自稱帶有TOC檢測的純水系統，孰優孰劣，也就一目了然了。