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  • 系列名稱:ZS-HL 2D CMOS激光型
    系列描述:

    超高性能傳感器支持大范圍準確測量的核心質量

    測量中心距離為20 ~ 1,500 mm的各種型號。
    最大分辨率達0.25 μm。
    最大響應速度達110 μs。
    支持并行輸出。

    ZS-HL 特點 3 ZS-HL_Features1
    ZS-HL 特點 4 ZS-HL_Features2
    ZS-HL 特點 5 ZS-HL_Features3

    超穩定性

    最佳尺寸/穩定性
    傳感器尺寸

    重視性能的理想傳感器頭尺寸和3點式固定構造確保出眾的傳感穩定性。(參見注釋)

    ZS-HL 特點 9 ZS-HL_Features4

    注:ZS-HLDS2T 不可用。

    卓越的移動分辨率
    透視分辨率提升

    通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學系統較優化,從而大幅度降低移動分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。

    ZS-HL 特點 13 ZS-HL_Features5

    材質間誤差降低
    2維CMOS

    CCD在受光量過多時電荷會溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現象,不會受不同材質或受光過多導致的光量變動影響。

    ZS-HL 特點 16 ZS-HL_Features6
    ZS-HL 特點 17

    降低決定測量精度的不同物體之間的差異。
    因此,可以更方便地應用于檢測對象物。

    ZS-HL 特點 19 ZS-HL_Features7
    ZS-HL 特點 21 ZS-HL_Features8
    ZS-HL 特點 22 ZS-HL_Features9
    ZS-HL 特點 23

    1,500mm長距離檢測,可以測量以往無法測量的點。

    ZS-HL 特點 25 ZS-HL_Features10
    ZS-HL 特點 27 ZS-HL_Features11

    注:此功能可能在明亮環境中無效。

    ZS-HL 特點 29

    可穩定測量傾斜工件和移動工件。

    ZS-HL 特點 31 ZS-HL_Features12
    ZS-HL 特點 32 ZS-HL_Features13

    專門為ZS-HLDS2VT開發的非球面透鏡,采用的光學結構設計適用于正反射工件。顯著擴大了允許傾斜的角度,并提高了測量透明工件和正反射工件的穩定性。

    ZS-HL 特點 34 ZS-HL_Features14
    ZS-HL 特點 35

    在半導體晶圓片、玻璃等要求精度高的測量上具有較佳優勢。

    ZS-HL 特點 37 ZS-HL_Features15

    令人難以置信的測量精度0.25μm,同級產品的較高水平。

    ZS-HL 特點 40 ZS-HL_Features17

    密封調和器的高度控制

    ZS-HL 特點 42 ZS-HL_Features18

    HDD用電機旋轉座的光盤播放檢查

    ZS-HL 特點 44 ZS-HL_Features19