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日本精工開發100℃環境下亦可高精度檢測的角度傳感器系統

發布日期:2022-07-14 點擊率:47

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 圖:角度傳感器系統。
在100℃高溫下亦可以±10秒的絕對精度檢測 

       日本精工開發出了在100℃的環境條件下亦可以±10秒的絕對精度檢測的角度傳感器系統。主要用于搬運設備、液晶制造設備、太陽能電池制造設備、半導體制造設備及汽車制造設備等的角度檢測。 

  在開發并采用新的高精度補償(誤差補償)算法的同時,還應用該公司生產的DD(直接驅動)馬達“Megatorque Motor”上采用的“多極旋轉變壓器技術”,實現了與光學方式相同的高絕對精度。多極旋轉變壓器方式的特點是不易受振動、溫度及油霧等的影響。通過這些措施,即使在高溫條件下,也可獲得高精度。 

  盡管是角度傳感器,但通過采用4點接觸的球軸承使其能夠承受直接負荷,因此比原來更堅固、更易操作。另外,通過在軸承內側配備小型旋轉變壓器,使高度較原來縮小了一半,只有35mm。旋轉速度為600rpm,絕對角度的最小分辨率為0.5秒(262萬等分)。 

  另外,該公司預定在2008年12月3~5日舉辦的“SEMICON JAPAN 2008”(幕張Messe會展中心)”上展出此開發品。

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