發(fā)布日期:2022-07-14 點擊率:63
SII文件進(jìn)行后處理。例如,物理設(shè)計工具通過強(qiáng)化現(xiàn)有特征或增加新特征(被稱為次分辨率輔助特性——SRAF)的手段修改GDSII文件以獲得更好的可印刷能力。它意味著,若工具預(yù)計印刷過程會產(chǎn)生某種失真,則工具將自動增加反方向失真,以使兩個失真相互抵消。問題在于,設(shè)計中的每個結(jié)構(gòu)都受臨近結(jié)構(gòu)的影響。也即,若GDSII文件生成了兩個幾何形狀并在光掩膜時相互隔絕,則這兩個形狀將以確定方式被打印。但若使同樣這兩個形狀相互靠得很近,則這兩個形狀間的相互干擾通常會以非直觀的方式擅自改變這兩個形狀。這些干擾的結(jié)果將導(dǎo)致時序、噪聲和功耗變異并最終影響良率。
圖1:真正的可制造性設(shè)計需要適應(yīng)絕對物理變異。
圖2:當(dāng)被應(yīng)用于兩個時序PDF曲線時,具有DFM意識的SSTA必須能解讀靈敏度和臨界態(tài)。
作者:Dwayne Burek
設(shè)計實現(xiàn)業(yè)務(wù)部產(chǎn)品總監(jiān)
Magma Design Automation公司