全球最大的純閃存解決方案供應(yīng)商Spansion日前宣布開始在其位于日本的Spansion 1(SP1)工廠采用MirrorBit技術(shù)在300mm晶圓上生產(chǎn)65nm產(chǎn)品,并計(jì)劃于年底向客戶大量供貨。為慶祝這一盛事,Spansion專門在SP1舉行了隆重的慶祝活動(dòng)。SP1是世界上第一家300mm NOR制造廠,對(duì)Spansion領(lǐng)先差異化閃存解決方案戰(zhàn)略的實(shí)施具有重要意義。在活動(dòng)過程中,Spansion高層管理人員展示了采用MirrorBit技術(shù)的65nm工作硅片并帶領(lǐng)嘉賓參觀了晶圓廠。
SP1晶圓制造廠是Spansion成為獨(dú)立的公司以來所建立的第一家工廠。Spansion將原計(jì)劃12億美元中的很大一部分投資用于建造SP1并購置設(shè)備。Spansion預(yù)計(jì),這筆投資將帶來每月15,000-20,000片300mm晶圓的產(chǎn)能,隨著投資的擴(kuò)大,以后還能擴(kuò)充到每月30,000-40,000片。Spansion計(jì)劃在SP1生產(chǎn)MirrorBit Eclipse等尖端產(chǎn)品,并在2008年生產(chǎn)45nm產(chǎn)品。SP1與Spansion另一家工廠JV3都位于日本會(huì)津,與JV3共用員工及設(shè)施等部分資源。
Spansion總裁兼首席執(zhí)行官Bertrand Cambou表示:“我們正按計(jì)劃在300mm晶圓上逐步將MirrorBit技術(shù)升級(jí)到45nm。憑借新一代的工廠設(shè)施以及MirrorBit技術(shù)所帶來的成本與技術(shù)優(yōu)勢(shì),我們一定能夠?qū)崿F(xiàn)承諾,為客戶創(chuàng)造更多價(jià)值并重新定義閃存業(yè)。”
從研發(fā)到生產(chǎn)
Spansion在其位于硅谷的MirrorBit研發(fā)中心Submicron development Center(SDC)啟動(dòng)了300mm晶圓研發(fā)項(xiàng)目。65nm MirrorBit技術(shù)制程就是在該中心開發(fā)的,現(xiàn)已轉(zhuǎn)移到SP1準(zhǔn)備投入量產(chǎn)。目前該中心正全力在300 mm晶圓上開發(fā)45nm產(chǎn)品,目標(biāo)于2008年將該技術(shù)在SP1廠實(shí)現(xiàn)。在加州硅谷,Spansion是唯一一家進(jìn)行300mm NOR閃存研發(fā)的公司。
MirrorBit技術(shù)
采用MirrorBit技術(shù)所獲得的產(chǎn)量比傳統(tǒng)浮動(dòng)門NOR技術(shù)所帶來的產(chǎn)量高,而且更容易擴(kuò)展到更高容量。與浮動(dòng)門NOR技術(shù)相比,MirrorBit技術(shù)具有更簡(jiǎn)單的存儲(chǔ)單元,減少了所需的關(guān)鍵制造步驟。因此MirrorBit技術(shù)可以以較低的晶圓總成本進(jìn)行生產(chǎn)。
Spansion制定了雄心勃勃的制程技術(shù)發(fā)展藍(lán)圖,每年突破一個(gè)新的節(jié)點(diǎn)。Spansion在其所有晶圓廠采用MirrorBit技術(shù)即可實(shí)現(xiàn)代碼和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)解決方案的高效生產(chǎn)。
Spansion的晶圓廠產(chǎn)能包括:
·Spansion位于日本會(huì)津若松市的SP1 300mm晶圓廠,生產(chǎn)65nm和45nm MirrorBit產(chǎn)品。
·Spansion位于美國德克薩斯州奧斯汀市Fab 25晶圓廠,生產(chǎn)90nm和將來的65nm MirrorBit產(chǎn)品。
·Spansion位于日本會(huì)津若松市的JV3工廠,生產(chǎn)110nm MirrorBit產(chǎn)品。這是Spansion主要的內(nèi)置鋁制造廠(internal aluminum fab)。
·與TSMC建立代工關(guān)系以生產(chǎn)采用MirrorBit技術(shù)的110nm及90nm產(chǎn)品,以便在需求高峰期間提供產(chǎn)能保障。
·與富士通建立代工關(guān)系,生產(chǎn)320nm、230nm和200nm的MirrorBit及/或浮動(dòng)門鋁制金屬層產(chǎn)品,主要是為了滿足消費(fèi)電子、機(jī)頂盒和工業(yè)產(chǎn)品事業(yè)部(CSID)的需要。
