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Brooks Instrument GF series 熱質量流量計

發布日期:2022-06-17 點擊率:66


產品規格型號

  • Vvv技術

  • 熱質量

  • 液體類型

  • 用于氣體

  • 安裝類型

  • 在線

  • 材質

  • 不銹鋼

  • 通信協議

  • RS485, 模擬輸出

  • 電源電壓

  • 5Vdc

  • 保護程度

  • 耐腐蝕

  • 應用

  • 用于高流量

  • 其他特性

  • 數碼

  • 工藝壓力

  • 最多: 34.47 bar

    最少: 0 bar (0 psi)

  • 工藝溫度

  • 最多: 50 °C (122 °F)

    最少: 0 °C (32 °F)

  • 質量流量

  • 最多: 300 l/min (79.3 us gal/min)

    最少: 0 l/min (0 us gal/min)

  • 精確度

  • 0.35 %, 1 %

  • 重復精度

  • 0.15 %


產品介紹

GF100 系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表 高純度流路。出色的性能、可靠性和可重現性。 GF100 系列金屬密封質量流量控制器和儀表性能:快速響應和可重現的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導體、MOCVD 等其他氣體流量控制應用設計,GF100 系列在可靠性方面優于半導體行業標準水平,可確保測量結果可重現并且長時間使用后性能依然高度穩定。一臺采用標準 MultiFlo? 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。 結果:提高工藝靈活性和效率輔以業內最高純度的過程氣體,有助于最大限度提高產率和生產效率。 特點 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5% 穩定時間:700 ms -<1 秒 全金屬密封流路:可選擇采用 4μ 或 10μ 英寸 Ra 表面處理的流路 耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結果的可重現性 MultiFlo? 氣體和量程設定功能 — 一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度 本地顯示屏 可選 SDS 氣體輸送 DeviceNet?、RS-485 L-協議和模擬接口

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