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產(chǎn)品介紹

Sierra的SmartTrak 100熱質(zhì)量流量控制器是一款多氣體數(shù)字MFC，旨在提供您每次可依靠的平穩(wěn)，穩(wěn)定，準(zhǔn)確和可重復(fù)的氣體質(zhì)量流量控制。不受上游氣體溫度和壓力波動(dòng)的影響，Sierra SmartTrak 100的氣體質(zhì)量流量控制是直接而明確的。SmartTrak已獲得CE認(rèn)證，可在您指定的較大流量范圍（高達(dá)1000 slpm或更高）下使用，具有各種尺寸，工業(yè)防水外殼，工作壓力和溫度以及行業(yè)尺寸。

采用熱技術(shù)的直接質(zhì)量流量+/- 0.5％滿量程精度。

多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器。

50 slpm的占地面積小，非常適合OEM。

主要標(biāo)準(zhǔn)的10點(diǎn)NIST校準(zhǔn)。

技術(shù)參數(shù)

所有清潔氣體，包括有毒和腐蝕性      

高精度：滿量程的+/- 0.5％

精度：滿量程的+/- 1％

重復(fù)性：滿量程的+/- 0.2％

流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）

更高和更低的流量范圍

壓力至500 psig（34.5 barg）

氣體/環(huán)境溫度32°F至122°F（0°C至50 C）                                                           

響應(yīng)時(shí)間：300ms時(shí)間常數(shù)：2秒（典型值），在終值的±2％之內(nèi)（包括建立時(shí)間），根據(jù)要求提供更快或更慢的速度

24 VDC電源

密封件：Viton，Neoprene，Karlez

316不銹鋼結(jié)構(gòu)

包括模擬或數(shù)字信號(hào)：RS-232，RS-485（多點(diǎn)），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC

數(shù)字通信： 基金會(huì)現(xiàn)場(chǎng)總線 和 Modbus RTU

詳細(xì)參數(shù)

所有清潔氣體，包括有毒和腐蝕性      

高精度：滿量程的+/- 0.5％

精度：滿量程的+/- 1％

重復(fù)性：滿量程的+/- 0.2％

流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）

更高和更低的流量范圍

壓力至500 psig（34.5 barg）

氣體/環(huán)境溫度32°F至122°F（0°C至50 C）                                                           

響應(yīng)時(shí)間：300ms時(shí)間常數(shù)：2秒（典型值），在終值的±2％之內(nèi)（包括建立時(shí)間），根據(jù)要求提供更快或更慢的速度

24 VDC電源

密封件：Viton，Neoprene，Karlez

316不銹鋼結(jié)構(gòu)

包括模擬或數(shù)字信號(hào)：RS-232，RS-485（多點(diǎn)），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC

數(shù)字通信： 基金會(huì)現(xiàn)場(chǎng)總線 和 Modbus RTU

產(chǎn)品應(yīng)用